|
|
|
|
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.
Код: 04551511
Страниц: 283
Переплет: твердый
Размер: 17.5 x 24.5 x 1.6 см
Вес: 405 г.
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Наличие: распродано
|
Описание:
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
|
|
|
|
|
