|
|
|
|
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Гаврилов А.С., Белов А.Н.
Код: 04872238
Страниц: 240
Переплет: твердый
Размер: 14.5 x 21.5 x 1.8 см
Вес: 335 г.
ISBN: 978-5-369-01299-4
Наличие: отправка 16-24 сентября
Основной раздел
23.07 €
Скидка: 50%
вместо: 46.15 €
|
Описание:
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
|
|
|
|
|
