|
|
|
|
Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Гридчин Александр Викторович
Код: 44349888
Страниц: 232
Переплет: твердый Год издания: 2024 Размер: 15.4 x 21.7 x 1.4 см
Вес: 390 г.
ISBN: 978-5-9729-1613-9
Наличие: распродано
|
Описание:
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
|
|
|
|
|
